Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems - Francis E H Tay - Böcker - Springer-Verlag New York Inc. - 9781441953032 - 3 december 2010
Om omslag och titel inte matchar är det titeln som gäller

Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2002 edition

Pris
SEK 1.599

Beställningsvara

Förväntad leverans 5 - 13 aug
Få avisering om nya utgåvor med Francis E H Tay
Lägg till din iMusic-önskelista
eller

Inte betygsatt ännu

Finns även som:

Although standard IC fabrication steps, particularly lithographic techniques, are leveraged heavily in the creation of MEMS devices, additional customized and novel micromachining techniques are needed to develop sophisticated MEMS structures.


328 pages, 176 black & white illustrations, biography

Media Böcker     Pocketbok   (Bok med mjukt omslag och limmad rygg)
Releasedatum 3 december 2010
ISBN13 9781441953032
Utgivare Springer-Verlag New York Inc.
Antal sidor 299
Mått 155 × 235 × 17 mm   ·   458 g
Språk Engelska  
Redaktör Tay, Francis E. H.

Mer från samma **utgivare**