Tipsa dina vänner om produkten:
Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems Francis E H Tay Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2002 edition
Pris
SEK 1.599
Beställningsvara
Förväntad leverans 5 - 13 aug
Få avisering om nya utgåvor med Francis E H Tay
Lägg till din iMusic-önskelista
eller
Finns även som:
Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems
Francis E H Tay
Although standard IC fabrication steps, particularly lithographic techniques, are leveraged heavily in the creation of MEMS devices, additional customized and novel micromachining techniques are needed to develop sophisticated MEMS structures.
328 pages, 176 black & white illustrations, biography
| Media | Böcker Pocketbok (Bok med mjukt omslag och limmad rygg) |
| Releasedatum | 3 december 2010 |
| ISBN13 | 9781441953032 |
| Utgivare | Springer-Verlag New York Inc. |
| Antal sidor | 299 |
| Mått | 155 × 235 × 17 mm · 458 g |
| Språk | Engelska |
| Redaktör | Tay, Francis E. H. |