Tipsa dina vänner om produkten:
Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems Francis E H Tay 2002 edition
Pris
SEK 1.609
Beställningsvara
Förväntad leverans 16 - 24 sep
Få avisering om nya utgåvor med Francis E H Tay
Lägg till din iMusic-önskelista
eller
Finns även som:
Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems
Francis E H Tay
Although standard IC fabrication steps, particularly lithographic techniques, are leveraged heavily in the creation of MEMS devices, additional customized and novel micromachining techniques are needed to develop sophisticated MEMS structures.
299 pages, biography
| Media | Böcker Inbunden Bok (Inbunden bok med hårda pärmar och skyddsomslag) |
| Releasedatum | 31 augusti 2002 |
| ISBN13 | 9781402071751 |
| Utgivare | Springer-Verlag New York Inc. |
| Antal sidor | 299 |
| Mått | 155 × 235 × 19 mm · 712 g |
| Språk | Engelska |
| Redaktör | Tay, Francis E. H. |